Afin de maintenir le fonctionnement stable de la machine de lithographie, il est nécessaire d'installer un système de refroidissement à l'intérieur de la machine.Le système de refroidissement de la machine de lithographie comprend principalement le refroidissement à l'eau, le refroidissement par air forcé, le réfrigérant, l'hydrogène et l'hélium et d'autres moyens, dont le refroidissement par eau est le courant dominant.Le système de refroidissement à l'eau à l'intérieur de la machine de lithographie passe l'eau à travers le radiateur interne à travers le tuyau d'eau, élimine la chaleur lorsqu'elle traverse les pièces à haute température internes et la dissipe par le radiateur extérieur,maintenir ainsi l'environnement à basse température à l'intérieur de la machine de lithographie et assurer le fonctionnement stable de la machine de lithographie.